Chemshunaluminiumoxide wafer polijstplaat/draaitafel is makke fan hege suverens 99.7-99.9% aluminiumoxide. Hege suverens aluminiumoxide keramyk hat treflike styfheid en poerbêste slijtvastheid foar waferpolijsten en behâldt in goede oerflakfoarm oer in lange perioade. It is foarme troch PIBM. It is in lid fan 'e healgeleideryndustry fanwegen syn ongeëvenaarde termyske en dimensjonele stabiliteit en wjerstân tsjin swiere omjouwings fan mikrochipferwurkingsapparatuer.
Chemysk-Mechanyske Planarisaasje (CMP), ek wol bekend as Chemysk-Mechanysk Polijsten, is in technology yn it produksjeproses fan healgeleiderapparaten. It brûkt gemyske korrosje en meganyske krêften om silisiumwafers of oare substraatmaterialen te platterjen tidens de ferwurking.
CMP-apparatuer is benammen ferdield yn twa dielen: in polijstdiel en in skjinmeitsdiel. It polijstdiel bestiet út 4 dielen, nammentlik 3 polijstdraaitafels en in module foar it laden en ûntladen fan wafers. It skjinmeitsdiel is ferantwurdlik foar it skjinmeitsjen en droegjen fan 'e wafer om de "yn- en útdroeging" fan 'e wafer te berikken. Yn 'e heule polijstapparatuer spilet aluminiumoxidekeramyk in wichtige rol.
Aluminiumoxide-keramyk wurdt meastentiids brûkt om wafer-polijstskiven te meitsjen, dy't hege suverens, hege gemyske duorsumens en goede kontrôle oer oerflakfoarm en rûchheid fereaskje.
Chemshun 99.7% Al2O3 keramyske slypskiif is makke fan avansearre keramyske materialen, dy't geskikt is foar it fyn slypjen fan ferskate materialen, foaral foar it slypjen fan brosse materialen lykas wafers, keramyk en glês. Us keramyske slypskiif kin yn ferskate maten makke wurde neffens ferskate slyp- en polijstmodellen.
Pleatsingstiid: 30 maaie 2025