Mei de rappe ûntwikkeling fan 'e healgeleideryndustry is de skaal fan 'e yndustry rap tanommen, en apparatuer foar healgeleiderproduksje is trochgien mei it ûntwikkeljen fan presyzje en kompleksiteit. Omdat keramyk de foardielen hat fan hege hurdens, hege elastyske modulus, hege wearbestindigens, hege isolaasje, korrosjebestriding, lege útwreiding, ensfh., kin it brûkt wurde as ûnderdielen fan silikonpolijstmasines, epitaksiale/oksidaasje/diffúsjewaarmtebehannelingsapparatuer, litografymasines, ôfsettingsapparatuer, healgeleider-etsapparatuer, ionimplantaasjemasines en oare apparatuer, sadat it ûndersyk en ûntwikkeling en produksje fan presyzjekeramyske ûnderdielen direkt ynfloed hawwe op 'e ûntwikkeling fan' e healgeleideryndustry. De technyske easken foar de tarieding dêrfan wurde hieltyd heger.
Hege suverens aluminiumoxide, 99,7% -99,9% aluminiumoxide.
Hege meganyske sterkte, hege wearbestindigens, hege elektryske isolaasje, hege gemyske stabiliteit, goede waarmtebestriding en korrosjebestriding. Op it stuit is it brûken fan keramyske slypskiven foar it slypjen fan healgeleider-silisiumwafers de meast superieure en foarútstribjende slypmetoade. It dûbelsidich slypproses wurdt brûkt om de sniene silisiumwafer te slypjen, en de kwaliteit fan 'e slypwafer wurdt ferbettere troch it ferbetterjen fan it slypproses (skiifmateriaal, slypfloeistof, slypdruk en slypsnelheid, ensfh.). Benammen it brûken fan keramyske platen ynstee fan getten izeren platen, om slypjen op it haadoerflak fan 'e wafer feroarsake troch littekens of fersmoarging te foarkommen, de ynfiering fan metaalioanen te ferminderjen, de neifolgjende ferwurking fan silisium te ferminderjen, de neifolgjende prosestiid (korrosje) te koarterjen, de produksjeeffisjinsje te ferbetterjen en it ferlies fan silisiumferwurking te ferminderjen, it gebrûk fan silisium sterk te ferbetterjen.
Hege aluminiumoxide wafer polearjende plaatwurdt brûkt yn healgeleider-, petroleum-, gemyske, fotovoltaïsche, floeibere kristal- en oare yndustryen, lykas meganyske ûnderdielen, elektroanyske ûnderdielen, mikrogolfinduksjeskiven, isolaasjematerialen en oare ûnderdielen, healgeleiderapparaten, fakuümapparatuer, floeibere kristalproduksjeapparatuer en oare ûnderdielen. Grutte en hege suverens aluminiumoxide-keramyk hat wichtige tapassingswearde yn 'e saffieryndustry en healgeleiderchipyndustry. It is in wichtige stipe en ferbrûksmiddel foar gemysk-meganysk polearjen (CMP) fan saffier- en healgeleidersilisiumwafers. Grutte en hege suverens aluminiumoxide-keramyk kin ek brûkt wurde as in aluminiumoxide-substraat foar LCD.
Pleatsingstiid: 27 juny 2024